Sơ lược về quy trình sản xuất thiết bị bán dẫn – Kì 3 ...
May 28, 2020· Sơ lược về quy trình sản xuất thiết bị bán dẫn – Kì 3: siêu tia cực tím EUV. Kì trước, chúng ta đã tìm hiểu về cách thức hoạt động của photolithography cũng như mối quan hệ mật thiết giữa bước sóng ánh sáng và kích thước nhỏ nhất in trên đế chip (tiến trình hay ...
Đọc thêm